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CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications: Volume 1155

Name: CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications: Volume 1155
Brand: Cambridge University Press
SKU: 02439020
Price: 39.86 EUR
Availability: InStock
Author: Alexander A. Demkov
ISBN: 9781107408326

Alexander A. Demkov

Bill Taylor

H. Rusty Harris

Jeffery W. Butterbaugh

Sprache

Englisch

Buch Broschur

Libristo-Code: 02439020

Verlag Cambridge University Press, Juni 2014

To address the increasing demands of device scaling, new materials are being introduced into convent... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 02439020

97 b

39.86 €

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To address the increasing demands of device scaling, new materials are being introduced into conventional Si CMOS processing at an unprecedented rate. Presentations collected here focus on understanding, from a chemistry and materials perspective, the mechanism of interface formation and defects at interfaces, for both conventional Si and alternative channel (Ge or III-V) systems. Several papers address reliability concerns for high-k/metal gate (basic physical models, charge trapping, etc.), while others cover characterization of the thin films and interfaces which comprise the gate stack. Topics include: advanced Si-based gate stacks; and alternate channel materials.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name CMOS Gate-Stack Scaling - Materials, Interfaces and Reliability Implications: Volume 1155

Autor Alexander A. Demkov, Bill Taylor, H. Rusty Harris, Jeffery W. Butterbaugh

Sprache

Englisch

Einband Buch - Broschur

Datum der Veröffentlichung 2014

Anzahl der Seiten 194

EAN 9781107408326

ISBN 1107408326

Libristo-Code 02439020

Verlag Cambridge University Press

Gewicht 27

Abmessungen 152 x 229 x 10

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Fertigungstechnik und Ingenieurwesen > Industrielle Qualitätskontrolle

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft

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