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Mikromechanik

Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie

Sprache DeutschDeutsch
Buch Broschur
Buch Mikromechanik Anton Heuberger
Libristo-Code: 07019821
Verlag Springer, Berlin, November 2011
Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftsträchtigen Disziplin, i... Vollständige Beschreibung
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Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftsträchtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik. Das Buch ist unentbehrlich für jeden, der sich intensiv mit der Mikromechanik befassen will; für den Studierenden ebenso wie für den Ingenieur in der Praxis oder den interessierten Laien.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Mikromechanik
Sprache Deutsch
Einband Buch - Broschur
Datum der Veröffentlichung 2012
Anzahl der Seiten 501
EAN 9783642466229
ISBN 3642466222
Libristo-Code 07019821
Gewicht 893
Abmessungen 170 x 244 x 27
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