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Nano and Microelectromechanical Systems (NEMS and MEMS) and Molecular Machines: Volume 741

Name: Nano and Microelectromechanical Systems (NEMS and MEMS) and Molecular Machines: Volume 741
Brand: Materials Research Society
SKU: 02060340
Price: 24.11 EUR
Availability: PreOrder
Author: David A. LaVanArturo A. AyónThomas E. BuchheitMarc J. Madou
ISBN: 9781558996786

David A. LaVanArturo A. AyónThomas E. BuchheitMarc J. Madou

Sprache

Englisch

Buch Hardcover

Libristo-Code: 02060340

Verlag Materials Research Society, Mai 2003

This book broadens the scope from 'conventional' MEMS to include issues relating to bioMEMS, NEMS, a... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 02060340

59 b

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This book broadens the scope from 'conventional' MEMS to include issues relating to bioMEMS, NEMS, and molecular machines and the interfaces between these fields. Although originally based in silicon microelectronics technology, the reach of NEMS and MEMS is now extending to new materials such as diamond, metals and polymers, with various fabrication techniques. New materials and applications envisioned for NEMS and MEMS introduce a number of processing and packaging issues, such as biocompatibility. They also provide potential to study in situ thin-film properties with extraordinary resolution. Properly designed structures fabricated alongside NEMS and MEMS structures and integrated with advanced metrology methods provide unprecedented resolution for measuring material property. The book improves understanding of materials behavior and device issues at the micro-, nano- and molecular scale as well as the behavior and interface between micro-, nano- and molecular devices. Topics include: micro- and nanofluids; nanotechnology and molecular machines; mechanical properties and characterization; alternative micro- and nanofabrication techniques; and surface engineering issues in MEMS structures and devices.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Nano and Microelectromechanical Systems (NEMS and MEMS) and Molecular Machines: Volume 741

Autor David A. LaVanArturo A. AyónThomas E. BuchheitMarc J. Madou

Sprache

Englisch

Einband Buch - Hardcover

Datum der Veröffentlichung 2003

Anzahl der Seiten 298

EAN 9781558996786

ISBN 1558996788

Libristo-Code 02060340

Verlag Materials Research Society

Gewicht 545

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik

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