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Plasma Processes for Semiconductor Fabrication

Name: Plasma Processes for Semiconductor Fabrication
Brand: Cambridge University Press
SKU: 02017918
Price: 105.01 EUR
Availability: InStock
Author: W. N. G. Hitchon
ISBN: 9780521018005

W. N. G. Hitchon

Sprache

Englisch

Buch Broschur

Libristo-Code: 02017918

Verlag Cambridge University Press, September 2005

Plasma processing is a central technique in the fabrication of semiconductor devices. This self-cont... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 02017918

255 b

105.01 €

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Plasma processing is a central technique in the fabrication of semiconductor devices. This self-contained book provides an up-to-date description of plasma etching and deposition in semiconductor fabrication. It presents the basic physics and chemistry of these processes, and shows how they can be accurately modelled. The author begins with an overview of plasma reactors, and discusses the various models for understanding plasma processes. He then covers plasma chemistry, and describes in detail the modelling of complex plasma systems, with reference to experimental results. The book closes with a useful glossary of technical terms. No prior knowledge of plasma physics is assumed in the book. It contains many exercises and will serve as an ideal introduction to plasma processing and technology for graduate students of electrical engineering and materials science. It will also be a useful reference for practising engineers in the semiconductor industry.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Plasma Processes for Semiconductor Fabrication

Autor W. N. G. Hitchon

Sprache

Englisch

Einband Buch - Broschur

Datum der Veröffentlichung 2005

Anzahl der Seiten 232

EAN 9780521018005

ISBN 0521018005

Libristo-Code 02017918

Verlag Cambridge University Press

Gewicht 414

Abmessungen 178 x 254 x 14

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft > Technische Anwendung von elektronischen, magnetischen, optischen Materialien

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Schaltkreise und Komponenten (Bauteile)

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Elektronische Geräte und Materialien

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Energietechnik, Elektrotechnik und Energiemaschinenbau > Elektrotechnik

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