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Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications

Sprache EnglischEnglisch
Buch Hardcover
Buch Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications Hiroyuki Fujiwara
Libristo-Code: 04878436
Verlag John Wiley & Sons Inc, Januar 2007
Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semicond... Vollständige Beschreibung
? points 537 b
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Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications
Autor Hiroyuki Fujiwara
Sprache Englisch
Einband Buch - Hardcover
Datum der Veröffentlichung 2007
Anzahl der Seiten 392
EAN 9780470016084
ISBN 0470016086
Libristo-Code 04878436
Verlag John Wiley & Sons Inc
Gewicht 762
Abmessungen 157 x 235 x 26

Kategorie

Mathematik und Naturwissenschaften > Physik > Optische Physik
Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft
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