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Rapid Thermal Processing

Name: Rapid Thermal Processing
Brand: Academic Press
SKU: 39665096
Price: 58.93 EUR
Availability: InStock
Author: Richard B. Fair
ISBN: 9780323139809

Science and Technology

Richard B. Fair

Sprache

Englisch

E-Book Adobe ePub DRM

Libristo-Code: 39665096

Verlag Academic Press, Dezember 2012

This is the first definitive book on rapid thermal processing (RTP), an essential namufacturing tech... Vollständige Beschreibung

Libristo-Code: 39665096

143 b

58.93 €

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This is the first definitive book on rapid thermal processing (RTP), an essential namufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. Written and edited by nine experts in the field, this book covers a range of topics for academics and engineers alike, moving from basic theory to advanced technology for wafer manufacturing. The book also provides new information on the suitability or RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy, and in situ processing. Complete discussions on equipment designs and comparisons between RTP and other processing approaches also make this book useful for supplemental information on silicon processing, VLSI processing, and integrated circuit engineering.

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Informationen zum Buch

Vollständiger Name Rapid Thermal Processing

Autor Richard B. Fair

Sprache

Englisch

Einband E-Book - Adobe ePub DRM

Datum der Veröffentlichung 2012

Anzahl der Seiten 430

EAN 9780323139809

Libristo-Code 39665096

Verlag Academic Press

Kategorie

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Maschinenbau und Werkstoffe > Materialwissenschaft > Technische Thermodynamik

Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse > Elektronik, Nachrichtentechnik > Elektronik > Schaltkreise und Komponenten (Bauteile)

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